非接觸式顯微分光膜厚多層測厚儀
非接觸式顯微分光膜厚多層測厚儀
非接觸式顯微分光膜厚多層測厚儀
● 非接觸、非破壞式，量測頭可自由集成在客戶系統內
● 初學者也能輕松解析建模的初學者解析模式
● 高精度、高再現性量測紫外到近紅外波段內的絕對反射率，可分析多層薄膜厚度、光學常數（n：折射率、k：消光系數）
● 單點對焦加量測在1秒內完成
絕對反射率分析
● 多層膜解析（50層）
● 光學常數（n：折射率、k：消光系數）
膜或者玻璃等透明基板樣品，受基板內部反射的影響，無法正確測量。OPTM系列使用物鏡，可以物理去除內部反射，即使是透明基板也可以實現高精度測量。此外，對具有光學異向性的膜或SiC等樣品，也可不受其影響，單獨測量上面的膜。
● 半導體、復合半導體：硅半導體、碳化硅半導體、砷化鎵半導體、光刻膠、介電常數材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有機EL）
● 資料儲存：DVD、磁頭薄膜、磁性材料
● 光學材料：濾光片、抗反射膜
● 平面顯示器：液晶顯示器、薄膜晶體管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、膠水、DLC等
● 半導體、復合半導體：硅半導體、碳化硅半導體、砷化鎵半導體、光刻膠、介電常數材料
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