產品資料
科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈
產品名稱: 科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈
產品型號: A3611S
產品特點: 科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈深紫外 UV-VIS 光譜儀標準光源 · 190-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 · 長壽命適用于半導體、LCD、科研光譜分析
科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈 的詳細介紹
科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈
科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈
深紫外 UV-VIS 光譜儀標準光源 · 190-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 · 長壽命
適用于半導體、LCD、科研光譜分析
一、產品定位
- D2燈（Deuterium Lamp）：190-400 nm 深紫外標準光源
- Milas 供應：日本原廠，真空/大氣雙版本，高穩(wěn)定性
- 應用領域：半導體膜厚、LCD 配向膜、UV-VIS 光譜儀、科研分析
- 替代型號：Hamamatsu L2D2、Heraeus D2plus、Ocean Insight DH-2000
二、核心技術參數（Milas D2燈）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 光源類型 | 深紫外氘燈（D2 Lamp） |
| 波長范圍 | 190 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 輸出穩(wěn)定性 | < ±0.1 %（10 min，恒溫） |
| 啟動時間 | < 5 min（至穩(wěn)定） |
| 燈電流 | 300 mA（典型） |
| 燈電壓 | 90 V（典型） |
| 燈壽命 | 2,000 h（真空版） / 3,000 h（大氣版） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置除塵窗） |
| 電源 | DC 12 V / 24 V（含驅動器） |
| 接口 | SMA905 / FC 光纖（真空饋通） |
| 尺寸/重量 | Φ20×70 mm，0.2 kg（燈頭） |
三、功能亮點
- 190-400 nm 深紫外：適合 < 5 nm 超薄膜測定，高分辨率
- < ±0.1 % 穩(wěn)定性：基線漂移 < 0.1 mAU，無需頻繁校準
- 真空/大氣雙版本：真空度 ≤ 1×10?? Pa，潔凈室兼容
- >2,000 h 壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
- SMA905/FC 光纖：真空饋通，即插即用，無對
- 0.2 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
四、典型應用系統(tǒng)
半導體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│ │光源← Milas D2 ← 真空饋通 SMA905│ │└─ 光譜儀 ────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，190-400 nm 照射
- 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.05 nm
五、實測數據（膜厚測定驗證）
- 樣品：SiO? 5 nm 薄膜，真空 1×10?? Pa
- Milas D2 真空版：
- 穩(wěn)定性 ±0.05 %（10 min）
- 膜厚重復性 0.03 nm（10 次）
- 壽命 2,000 h（真空版）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| Milas-D2-VAC | 真空版（≤1×10?? Pa） |
| Milas-D2-AIR | 大氣版（內置除塵窗） |
| Milas-D2-SMA | SMA905 光纖接口（真空饋通） |
| Milas-D2-DRIVER | 12 V/24 V 驅動器（含） |
七、維護與可靠性
- 燈壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
- 光纖：真空饋通，每月清潔一次
- 驅動器：年漂移 < 0.1 %，無需校準
- 整機 2 年質保，10 年配件保障
八、結論
Milas D2燈以「190-400 nm 深紫外 + <±0.1 % 穩(wěn)定性 + 真空/大氣雙版 + >2,000 h 壽命」四合一設計，讓半導體、LCD、科研獲得「深紫外、高穩(wěn)定、長壽命」標準光源，是 D2 燈的「膜厚標準機」
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