半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測(cè)儀

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測(cè)儀

產(chǎn)品型號(hào): XPS-7 XD5-7

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測(cè)儀
1 臺(tái)主機(jī)多可掛載 5 個(gè)不同氣體傳感器頭（半導(dǎo)體級(jí)）
通過(guò)電磁閥自動(dòng)循環(huán)切換，實(shí)現(xiàn) 多路 / 多點(diǎn) / 多氣體連續(xù)監(jiān)視
目標(biāo)：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 級(jí)毒性氣體
適用于晶圓廠 Gas Box、Y-Piece、閥門分配箱（VMB）及 CVD / 刻蝕 / 離子注入工藝段

半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測(cè)儀 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測(cè)儀

1 臺(tái)主機(jī)多可掛載 5 個(gè)不同氣體傳感器頭（半導(dǎo)體級(jí)）通過(guò)電磁閥自動(dòng)循環(huán)切換，實(shí)現(xiàn) 多路 / 多點(diǎn) / 多氣體連續(xù)監(jiān)視目標(biāo)：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 級(jí)毒性氣體適用于晶圓廠 Gas Box、Y-Piece、閥門分配箱（VMB）及 CVD / 刻蝕 / 離子注入工藝段

表格

復(fù)制

單元	型號(hào)	功能
主機(jī)	XPS-7	5 通道自動(dòng)切換、4–20 mA / RS-485、3 段報(bào)警、LCD 圖形
傳感器頭	XD5-7-○○	半導(dǎo)體專用檢測(cè)頭（○○ = 氣體代碼）
采樣泵	內(nèi)置	0.3 L min?1 無(wú)刷隔膜泵，可外接 30 m 采樣管線
采樣路徑	5 路電磁閥	1 s–999 s 可設(shè)駐留時(shí)間，循環(huán)或定點(diǎn)模式

檢測(cè)原理：

電化學(xué)式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半導(dǎo)體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補(bǔ)償）

檢測(cè)范圍（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
響應(yīng)時(shí)間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內(nèi)）
報(bào)警輸出：
獨(dú)立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯(lián)鎖 Shut-valve
自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計(jì)時(shí)
校準(zhǔn)：內(nèi)置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無(wú)需拆頭，30 s 完成兩點(diǎn)校準(zhǔn)
防護(hù)：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg

檢測(cè)原理：

電化學(xué)式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半導(dǎo)體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補(bǔ)償）

檢測(cè)范圍（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
響應(yīng)時(shí)間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內(nèi)）
報(bào)警輸出：
獨(dú)立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯(lián)鎖 Shut-valve
自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計(jì)時(shí)
校準(zhǔn)：內(nèi)置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無(wú)需拆頭，30 s 完成兩點(diǎn)校準(zhǔn)
防護(hù)：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg